芯片廠用的高效過(guò)濾器和風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）出廠前要經(jīng)過(guò)掃描測(cè)試。芯片廠不認(rèn)鈉焰法和DOP法的帳。
芯片廠特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。
但當(dāng)芯片的線寬小到0.5um時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。
芯片廠空氣過(guò)濾器有什么要求
芯片廠說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。
許多情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學(xué)過(guò)濾器應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。
如果能確定污染物種類，就可對(duì)吸附材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。
過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，以幫助用戶確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的，并與實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。
